[19a-Z29-1~9] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[19a-Z29-8] シリコン結晶の高感度赤外吸収と赤外欠陥動力学(18)窒素関連吸収の複ピーク

〇井上 直久¹、川又 修一¹、奥田 修一¹ (1.大阪府大研究推進)

キーワード：シリコン結晶、窒素、赤外吸収

シリコン結晶中の軽元素不純物の局在振動による赤外吸収ピークの形は通常Lorentzianとされている。しかし、STDの855㎝-1のONOや、照射熱処理により現れる689cm-1のVVNN吸収はピークが丸く、最近報告したas-grownでみられる551cm-1のNi吸収は高波数側に広くなっている。後者について551,552㎝-1に近接したピークがあることを見出したため、他の吸収を含めて検討した