[19a-Z32-1~10] 23.1 合同セッションN「インフォマティクス応用」

△ [19a-Z32-2] XPS スペクトル解析における未知成分の推定手法の開発

〇(M1)村上 諒¹、庄野 逸¹、篠塚 寛志²、永田 賢二²、吉川 英樹² (1.電通大、2.物材機構)

キーワード：X線光電子分光、スペクトル解析

参照スペクトル群に欠落が生じている場合でもスペクトル解析を行うことができる手法の開発は、スペクトルの全自動解析を実現するための重要な課題である。そこで本研究では、参照スペクトル群の欠落部分を未知成分として、自動的にスペクトル解析を行う手法の開発を目的とした。提案手法は、既知/未知成分のピークパラメータだけでなく、未知成分を表現するピークの個数まで推定することが可能である。