[19p-P02-1~22] 17 ナノカーボン(ポスター)

[19p-P02-15] バブルフリー転写法による高品質ファンデルワールス積層構造の作製

〇岩崎 拓哉¹、渡辺 英一郎¹、津谷 大樹¹、守田 佳史²、中払 周¹、若山 裕¹、渡邊 賢司¹、谷口 尚¹、森山 悟士³ (1.物材機構、2.群馬大、3.東京電機大)

キーワード：ファンデルワールス積層構造、二次元材料転写法、量子ホール効果

近年、ファンデルワールス積層構造において、材料の組み合わせ・積層角度・層間距離等の自由度を制御することによって様々な量子輸送/デバイス機能の発現が報告され、大きな注目を集めている。これらの特性を詳細に調べる/デバイス開発に応用するためには、高品質な積層構造作製技術が必須となる。従来の作製方法では材料間に気泡が入ってしまい、素子構造・材料品質が制限されてしまう問題点がある。本研究では上記の問題を解決するために開発した、積層構造界面への気泡の侵入を阻止する「バブルフリー転写法」について報告する。