2021年第68回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

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[19p-P02-1~22] 17 ナノカーボン(ポスター)

2021年3月19日(金) 14:00 〜 14:50 P02 (ポスター)

14:00 〜 14:50

[19p-P02-17] 質量検出型ガスセンサ用高Q値グラフェン共振器の作製

江本 圭佑1、アミット バネルジー1、アハメド ハマム1、マノハラン ムルガナタン1、槇 恒1,2、恩田 陽介2、服部 将志2、下舞 賢一2、水田 博1,3 (1.北陸先端大、2.太陽誘電(株)、3.日立ケンブリッジ研)

キーワード:NEMS、ナノエレクトロニクス、グラフェン

皮膚から発せられるアンモニアは、心身のストレスが増大することで放散速度が増大することが判明しており、簡易なヘルスモニタリング技術への応用が期待されている。しかし,アンモニアの放散量は極微小の変化であり,現在のガス検出方法では検出ができないことから,小型かつ高感度のガスセンサの開発が急務となっている。本研究では,グラフェン共振器を用いた2層メタルクランピング構造デバイスを作製した。