[19p-P02-1~22] 17 ナノカーボン(ポスター)

[19p-P02-17] 質量検出型ガスセンサ用高Q値グラフェン共振器の作製

〇江本 圭佑¹、アミット バネルジー¹、アハメド ハマム¹、マノハラン ムルガナタン¹、槇 恒^1,2、恩田 陽介²、服部 将志²、下舞 賢一²、水田 博^1,3 (1.北陸先端大、2.太陽誘電(株)、3.日立ケンブリッジ研)

キーワード：NEMS、ナノエレクトロニクス、グラフェン

皮膚から発せられるアンモニアは、心身のストレスが増大することで放散速度が増大することが判明しており、簡易なヘルスモニタリング技術への応用が期待されている。しかし，アンモニアの放散量は極微小の変化であり，現在のガス検出方法では検出ができないことから，小型かつ高感度のガスセンサの開発が急務となっている。本研究では，グラフェン共振器を用いた2層メタルクランピング構造デバイスを作製した。