[19p-Z07-1~9] 3.7 レーザープロセシング

[19p-Z07-7] ピコ秒レーザー照射によるSi上DLC膜の構造変化

〇高林 圭佑¹、カイディール カマロン¹、山口 誠¹、富田 卓朗²、高橋 孝³、小林 洋平³ (1.秋田大理工、2.徳島大学、3.東京大学)

キーワード：レーザーアブレーション、ラマン分光、DLC