[19p-Z07-1~9] 3.7 レーザープロセシング

[19p-Z07-9] フェムト秒アブレーション加工による熱影響の定量評価

〇谷 峻太郎¹、小林 洋平¹ (1.東大物性研)

キーワード：レーザー加工、熱影響