[19p-Z10-1~15] 3.11 フォトニック構造・現象

[19p-Z10-12] フォトニック結晶上へのGe2Sb2Te5パターニングによるモードの変調

〇上村 高広^1,2、千葉 永^1,2、養田 大騎²、森竹 勇斗^1,3、田中 祐輔²、納富 雅也^1,2,4 (1.東工大理、2.NTT物性研、3.JSTさきがけ、4.NTT NPC)

キーワード：フォトニック結晶、相変化材料

相変化材料であるGe₂Sb₂Te₅(GST)は、常温でアモルファス相と結晶相の2つの安定相を持ち、両相で大きな屈折率および消衰係数コントラストを持つ。Si細線やリング共振器等への、数μmスケールでのGST装荷およびモード変調は報告されているが、フォトニック結晶上への数百nmスケールでの装荷例はない。今回、フォトニック結晶共振器上に数百nm四方のGSTパタンを装荷し、相変化による共振モード波長とQ値の変化を確認したので、報告する。