[19p-Z13-1~14] 6.1 強誘電体薄膜

[19p-Z13-10] 種々の格子定数を有するSr(Zr, Ti)O₃バッファー層上に製膜した
PbTiO₃薄膜のドメイン構造に関する検討

森川 友秀¹、〇小寺 正徳²、清水 荘雄³、江原 祥隆⁴、舟窪 浩^1,2 (1.東工大物質理工、2.東工大元素、3.物材研、4.防衛大)

キーワード：強誘電体、薄膜、ドメイン構造

本研究ではSr(Zr, Ti)O₃固溶体をバッファー層として用いることを検討した。SZTOはその組成によって立方晶、正方晶あるいは直方晶の構造をとるがその長軸と短軸の格子定数の比が広い組成領域で1.003以下であるため擬立方晶バッファー層(0.39 nm < d < 0.41 nm)として機能するのではないかと考えた。種々の組成を有するSr(Zr, Ti)O₃をバッファー層として用いることで格子定数を連続的に変化させ、精密に歪量を制御することができると期待される。本発表ではバッファー層をSrTiO₃基板、LSAT基板上に作製した後、PbTiO₃を製膜し、ドメイン構造に与える影響を考察する。