[19p-Z13-1~14] 6.1 Ferroelectric thin films

△ [19p-Z13-14] Electro-optic effect in single domain Pb(Zr, Ti)O₃ thin films

〇Shinya Kondo^1,2, Tomoaki Yamada², Masahito Yoshino², Akira Kishimoto¹, Takashi Teranishi¹, Takanori Nagasaki² (1.Okayama Univ., 2.Nagoya Univ.)

Keywords:ferroelectric thin film, electro-optic effect, Pb(Zr, Ti)O3

これまでPb(Zr, Ti)O₃ (PZT) の電気光学 (EO) 特性は、シングルドメイン構造のEO係数がPbTiO₃のみで報告されており、組成相境界近傍の組成や多結晶構造の膜での研究が多く、内因的なEO応答の評価がなされていなかった。そこで、本研究では熱膨張係数の大きなCaF₂基板上でバッファー層を用いることでPZT薄膜を作製し、初めてシングルドメイン構造のPZTのEO特性の評価を行ったので、その結果を報告する。