[19p-Z13-1~14] 6.1 強誘電体薄膜

[19p-Z13-4] 0.1CeO₂-0.9HfO₂膜の電気特性および圧電特性の調査

〇白石 貴久^1,2、木口 賢紀²、今野 豊彦²、舟窪 浩¹ (1.東工大、2.東北大)

キーワード：HfO2基膜、圧電特性、Ce置換