[19p-Z13-1~14] 6.1 強誘電体薄膜

△ [19p-Z13-6] Y₂O₃-HfO₂強誘電体薄膜を搭載したMEMSユニモルフカンチレバーの作製と特性評価

〇海老原 凌¹、吉田 慎哉¹、志村 礼司郎²、船窪 浩²、田中 秀治¹ (1.東北大工、2.東工大物工院)

キーワード：圧電材料、HfO2基強誘電体、微小電気機械システム

近年、HfO₂系強誘電性薄膜の圧電定数は、AlNの2～3倍に達すると見積もられた。さらに、Y添加によって厚膜化の可能性も示されたことから、微小電気機械システム（MEMS）への応用が期待されている。しかし、この薄膜の微細加工性や圧電特性などの基礎検討は十分にされていない。本研究では、Y添加HfO₂薄膜（膜厚約450nm）を搭載したMEMSユニモルフカンチレバーを試作し、その圧電特性を評価した。