[19p-Z22-1~16] 3.13 半導体光デバイス

[19p-Z22-6] 微小共振器の偏光選択性に関する構造依存性のシミュレーション

〇北川 雄真¹、渡邉 芙美枝¹、鈴木 雄太¹、手塚 信一郎¹ (1.横河電機(株))

キーワード：微小共振器、VCSEL、偏光制御

VCSELなどの微小光共振器において、動作中の偏光状態を安定化させることは応用上重要である。これまでに我々は、微小共振器中のスリット構造による偏光制御をシミュレーションと実験とで報告しているが、従来のシミュレーションではスリットの構造パラメータは固定されていた。今回、構造パラメータをスリットの間隔・高さ・幅として計算した結果、偏光毎の回折損失のパラメータ依存性の定量化が可能となった。