2021年第68回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.4 III-V族窒化物結晶

[19p-Z27-1~14] 15.4 III-V族窒化物結晶

2021年3月19日(金) 13:00 〜 17:00 Z27 (Z27)

関口 寛人(豊橋技科大)、出浦 桃子(東大)、上杉 謙次郎(三重大)

15:30 〜 15:45

[19p-Z27-10] エピタキシャルAlInN膜における分極誘起正孔伝導に関する研究

中林 泰希1、高田 華果1、江川 孝志1、三好 実人1、竹内 哲也2 (1.名古屋工業大学、2.名城大学)

キーワード:MOCVD、分極ドーピング、組成傾斜AlInN