2021年第68回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.4 III-V族窒化物結晶

[19p-Z27-1~14] 15.4 III-V族窒化物結晶

2021年3月19日(金) 13:00 〜 17:00 Z27 (Z27)

関口 寛人(豊橋技科大)、出浦 桃子(東大)、上杉 謙次郎(三重大)

16:00 〜 16:15

[19p-Z27-11] m面上GaN中C濃度のステップ速度依存性の解析

望月 和浩1、堀切 文正2、太田 博1、三島 友義1 (1.法政大、2.サイオクス)

キーワード:窒化ガリウム、炭素、ステップ速度