2021年第68回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.4 III-V族窒化物結晶

[19p-Z27-1~14] 15.4 III-V族窒化物結晶

2021年3月19日(金) 13:00 〜 17:00 Z27 (Z27)

関口 寛人(豊橋技科大)、出浦 桃子(東大)、上杉 謙次郎(三重大)

13:15 〜 13:30

[19p-Z27-2] サファイア基板上高品質N面AlN成長と評価

松村 航2、坂本 凌太1、伊藤 忠寿1、斉藤 貴大1、安高 和哉1、岡田 成仁1、只友 一行1 (1.山口大院創成科学、2.山口大工)

キーワード:MOVPE、N面AlN