[19p-Z33-1~16] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

△ [19p-Z33-11] トップダウンプロセスで作製したZnO微小共振器中の共振器ポラリトンの室温における観測

〇嶋 紘平¹、古澤 健太郎¹、秩父 重英¹ (1.東北大多元研)

キーワード：酸化亜鉛、微小共振器、共振器ポラリトン

ZnOは励起子束縛エネルギーが59 meVと巨大なため、励起子と光子の連成波(励起子ポラリトン)を微小共振器(MC)モードと強結合させてコヒーレント光を得るポラリトンレーザに適している。近紫外波長域において高い反射率と広い反射帯域を有する分布ブラッグ反射鏡(DBR)を実現するためには非晶質の誘電体多層膜を用いる必要があり、そのような非晶質DBR上に欠陥および不純物が少ない単結晶ZnO活性層を成長させることは困難である。我々は、ZnOウエハを化学機械研磨により薄膜化したのち両面に誘電体DBRを堆積してZnO-MCを作製し、室温において共振器ポラリトンを観測したので報告する。