[19p-Z33-1~16] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

△ [19p-Z33-13] 酸素雰囲気アニールによるp型α-SnWO₄のキャリア濃度向上

〇(M1)土橋 優香¹、菊地 直人²、簔原 誠人²、三溝 朱音¹、西尾 圭史¹ (1.東理大、2.産総研)

キーワード：半導体、p型酸化物半導体、Sn系酸化物