[19p-Z33-1~16] 21.1 Joint Session K "Wide bandgap oxide semiconductor materials and devices"

△ [19p-Z33-7] Effect of varied surface modifications of cyclic olefin polymer substrates on the oriented crystal growth of ZnO thin films

〇(D)Tomoaki Oga¹, Naho Kaneko¹, Satoru Kaneko^2,1, Akifumi Matsuda¹, Mamoru Yoshimoto¹ (1.Tokyo Tech, 2.KISTEC)

Keywords:ZnO, VUV, polymer

ZnOなどのワイドギャップ酸化物半導体を用いたデバイス形成には、結晶配向成長による物性制御が重要である。ポリマー基板上のZnO薄膜の結晶配向成長には、低温での結晶核形成や成長方位制御が重要であり、ポリマー表面のモフォロジーやエネルギー制御に加え酸化物バッファ層形成の効果が期待される。本研究では、シクロオレフィンポリマー(COP)基板への種々の修飾を行いZnO薄膜成長に及ぼす影響について検討した。