13:45 〜 14:00 [22p-A406-4] プラズマアシスト熱サイクル法を用いたSiGeのセルフリミティング性サイクルエッチング 〇篠田 和典1、三浦 勝哉1、前田 賢治2、伊澤 勝2、NGUYEN Thi-Thuy-Nga3、石川 健治3、堀 勝3 (1.日立研開、2.日立ハイテク、3.名大)