14:15 〜 14:30 △ [22p-C200-4] 230 nm far-UVC AlGaN LEDにおける分極ドープ透明p型コンタクト層の膜厚依存性 〇(M1C)住司 光1,2、前田 哲利1、遠藤 聡2、藤代 博記2、祝迫 恭3、平山 秀樹1 (1.理研、2.東京理科大、3.日本タングステン)