11:45 〜 12:00 [22a-C102-8] 成膜プロセスの変調を通じたアモルファス膜の熱伝導の制御と理解 〇(P)鎮目 邦彦1、永廣 怜平1、佐々木 道子1,2、後藤 真宏2、塩見 淳一郎1 (1.東大院工、2.物材機構)