北嶋武

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発表者・著者、共著者

2022年9月23日(金) 13:30 〜 15:45 B102 (B102)

一般セッション(口頭講演)
| 8 プラズマエレクトロニクス
| 8.3 プラズマナノテクノロジー

[23p-B102-1~8] 8.3 プラズマナノテクノロジー

15:30 〜 15:45

[23p-B102-8] h-BN成膜用Ar希釈アンモニアボランプラズマの質量分析

〇北嶋武¹、森表拓哉¹、中野俊樹¹ (1.防大電気)