11:45 〜 12:00 [20a-B103-11] スパッタ法によるSi基板上エピタキシャルPZT薄膜のアニール効果 〇原田 絃暉1、木村 剛基1、田中 清高1、權 相曉1、神野 伊策1 (1.神戸大工)