10:45 〜 11:00 △ [20a-B204-7] 酸化物半導体薄膜を用いた室温近傍での水素ガスセンシング(2);SnO2薄膜のスパッタ成膜条件とガス検知特性 〇大舘 啓太1、柏木 誠1、小口 有希1、中村 明2、山本 晴香3、重里 有三1 (1.青学大 理工、2.ミネベアミツミ、3.日本電子)