09:45 〜 10:00 [20a-C101-4] 青色発光ダイオードでコリメート照明した対向放物面鏡立体投影リソグラフィによるスプーン面へのパターン形成の実証 〇堀内 敏行1、小林 宏史1 (1.東京電機大工)
