16:00 〜 16:15 △ [20p-B103-10] (Al1-x-yGaxScy)N薄膜の結晶構造および強誘電性 〇(M2)大田 怜佳1、安岡 慎之介1、岡本 一輝1、上岡 義弘2、楠瀬 好郎2、召田 雅実2、舟窪 浩1 (1.東工大、2.東ソー株式会社)