13:45 〜 14:00 [20p-B203-4] Mist CVD 法における原料溶液中の反応がα-In2O3成長に与える影響 〇山本 拓実1、田口 義士1、山田 梨詠1、永井 裕己1、尾沼 猛儀1、本田 徹1、山口 智広1 (1.工学院大)