14:30 〜 14:45 △ [20p-C101-5] 硝酸アルミニウム水溶液への浸漬処理により形成したAlドープ超極薄SiOxのSi表面のパッシベーション機構 〇(D)中島 寛記1、Huynh Thi Cam Tu1、大平 圭介1 (1.北陸先端大)