16:00 〜 18:00 [20p-P04-12] RFマグネトロンスパッタ法を用いたGaN薄膜の作製と評価に関する研究 〇桑原 翔太1、佐藤 裕喜1、大鉢 忠1、吉門 進三1 (1.同志社大院理工)