16:00 〜 18:00 [20p-P04-16] プロセスインフォマティクスに基づくGaN-MOS構造作製プロセスの改善 〇(M2)原田 卓門1、原田 慎太郎1、上沼 睦典1、宮尾 知幸1、浦岡 行治1 (1.奈良先端大)