11:00 〜 11:15 △ [21a-A106-9] Ge(100)基板上にスパッタ成膜したエピタキシャルGeSn層の評価 〇田中 信敬1、安部 和弥1、星原 雅生1、國吉 望月2、小林 拓真1、志村 考功1、渡部 平司1 (1.阪大院工、2.アルバック協働研)