10:30 〜 10:45
〇茂藤 健太1,2、都甲 薫3、高山 智成1、今城 利文3、山本 圭介1 (1.九大院 総理工、2.学振特別研究員、3.筑波大院 数理物質)
茂藤 健太
発表者・著者、共著者
2022年9月21日(水) 09:00 〜 11:15 A406 (A406)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術
2022年9月21日(水) 09:00 〜 11:15 A406 (A406)
10:30 〜 10:45
〇茂藤 健太1,2、都甲 薫3、高山 智成1、今城 利文3、山本 圭介1 (1.九大院 総理工、2.学振特別研究員、3.筑波大院 数理物質)