16:45 〜 17:00 [21p-A106-15] ニッケルシリサイド超薄膜形成におけるSiキャップ層の効果 〇木村 圭佑1、田岡 紀之1、西村 駿介1、大田 晃生1、牧原 克典1、宮﨑 誠一1 (1.名大院工)