14:30 〜 14:45 △ [21p-A301-6] MOD法によるガラス基板へのVO2薄膜成長と特性評価 〇(M1)扶川 泰斗1、豊田 和晃1、小山 政俊1、廣芝 伸哉1、小池 一歩1、和田 英男1 (1.大工大 ナノ材研)