外里遥

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発表者・著者、共著者

2022年9月21日(水) 13:15 〜 18:45 B203 (B203)

一般セッション(口頭講演)
| 21 合同セッションＫ「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」
| 21.1 合同セッションＫ「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[21p-B203-1~20] 21.1 合同セッションＫ「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

13:30 〜 13:45

△ [21p-B203-2] 飛行時間型質量分析によるβ-Ga₂O₃の有機金属気相成長の解析

〇(M1)外里遥¹、西村太郎¹、池永和正^1,2、佐々木捷悟³、後藤健¹、石川真人⁴、町田英明⁴、熊谷義直^1,3 (1.東京農工大院工、2.大陽日酸(株)、3.東京農工大FLOuRISH、4.気相成長(株))