13:45 〜 14:00 △ [21p-B203-3] 面内圧縮歪みを有するβ-Ga2O3薄膜のエピタキシャル成長 〇是石 和樹1、相馬 拓人1、加渡 幹尚2、大友 明1 (1.東工大物質理工、2.トヨタ自動車)