14:00 〜 14:15 △ [21p-B203-4] 室温でのエキシマレーザーアニールにより作製した酸化物緩衝層付きポリマー基板上のβ-Ga2O3配向膜の構造及び光学特性の評価 〇(M2)甲斐 稜也1、沼田 拓実1、大賀 友瑛1、金子 智2,1、松田 晃史1、吉本 護1 (1.東工大物質理工、2.神奈川産技総研)