14:15 〜 14:30 [21p-C206-4] 極紫外顕微鏡用の高倍率対物ミラ-で生じるコマ収差の精密補正 〇津久井 雄祐1、脇 俊太郎1、増根 伊織1、陳 軍1、豊田 光紀1 (1.東京工芸大学)