13:30 〜 13:45 [22p-A202-3] C2H2/N2混合気体に対するマイクロ波プラズマCVDで生成した高窒素含有a-CNx:H薄膜の形成 ¾ [N]/([N]+[C])>0.5は達成できるか? 〇伊藤 治彦1、佐藤 悠雅1、鈴木 常生1、斎藤 秀俊1 (1.長岡技科大(工))