13:00 〜 13:15 [22p-A406-1] プラズマ誘起欠陥の発生と修復 ~水素終端Si表面に及ぼすArプラズマの効果~ 〇布村 正太1、坂田 功1、古閑 一憲2、白谷 正治2 (1.産総研、2.九大)