16:00 〜 18:00 [22p-P17-8] その場XRD-RSM を用いたRF-MBEGaInNヘテロエピタキシャル成長における緩和過程観察 〇(M1)竹内 丈1、佐々木 拓生2、藤川 誠司2、横山 晴香1、尾沼 猛儀1、本田 徹1、山口 智広1、名西 憓之3 (1.工学院大学、2.量研、3.立命館大学)