11:15 〜 11:30 [23a-B101-9] 低温原子層堆積法による積層AlN、Al2O3ガスバリアの試作と評価 〇(D)齋藤 健太郎1、吉田 一樹1、三浦 正範2、鹿又 健作2、有馬 ボシールアハンマド1、久保田 繁1、廣瀬 文彦1 (1.山形大院理工、2.山形大院有機)