09:30 〜 09:45 [23a-C200-3] HEATE法によるInGaN/GaN MQW極微細ナノピラーアレイの作製 〇相川 健喜1、菊池 昭彦1,2,3 (1.上智大理工、2.上智大フォトニクス研究センター、3.上智大半導体研究所)