09:30 〜 11:30 [23a-P06-17] 固相結晶化シード層上へのZnO:Al透明導電膜のスパッタリング成膜:固相結晶化温度の影響 〇沈 志遠1、薮田 久人2、山下 尚人1、鎌滝 晋礼1、奥村 賢直1、古閑 一憲1,3、白谷 正治1、板垣 奈穂1 (1.九大シ情、2.九大CPNE、3.自然科学研究機構)