一般セッション(口頭講演)

[20p-A106-1~1] 8.7 プラズマエレクトロニクス分科内招待講演

2022年9月20日(火) 13:00 〜 13:45 A106 (A106)

△：奨励賞エントリー
▲：英語発表
▼：奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄：どちらもなし

13:00 〜 13:45

▲ [20p-A106-1] [INVITED] Analysis of two-dimensional RF sheath dynamics in capacitively coupled Ar plasmas using a high-performance particle-in-cell simulation

〇Hae June Lee¹ (1.Pusan National Univ.)

一般セッション(口頭講演)

2022年9月21日(水) 10:15 〜 11:00 B200 (B200)

深沢正永(ソニーセミコンダクタソリューションズ)

△：奨励賞エントリー
▲：英語発表
▼：奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄：どちらもなし

10:15 〜 11:00

〇瀬川澄江¹ (1.東京エレクトロン株式会社)

一般セッション(口頭講演)

2022年9月22日(木) 15:30 〜 16:15 A404 (A404)

△：奨励賞エントリー
▲：英語発表
▼：奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄：どちらもなし

15:30 〜 16:15

〇Annemie Bogaerts¹ (1.UAntwerp)