[20a-A200-1~10] 17.3 層状物質

[20a-A200-5] Mo前駆体の膜厚及び配向性が硫化後のMoS₂の配向性に与える影響の検討

〇佐藤 公輝¹、松島 聖人¹、高橋 和樹¹、金 冑男^1,2 (1.東理大　理工、2.東理大　総研)

キーワード：二硫化モリブデン、XRD、配向性

二硫化モリブデン(MoS₂)は層の終端における高い化学反応性や面内方向の高い移動度が報告されている。層を基板に対し垂直方向に成長させることで薄膜表面の活性サイト密度や垂直方向の移動度が向上させられることから、H₂生成触媒やセンサーなどへの応用が期待されている。これまでに我々はMo前駆体の配向性や結晶子径がMoS₂に与える影響を報告したが、膜厚などの薄膜構造がMoS₂の配向性に与える影響については報告が少ない。本研究では、前駆体の膜厚及び配向性がMoS₂の配向性に与える影響を検討した。