[20a-B103-1~12] 6.1 強誘電体薄膜

[20a-B103-9] 水熱合成法で作製したPbTiO₃基エピタキシャル膜の結晶構造及び特性評価

〇(M2)胡 雨弦¹、岡本 一輝¹、舟窪 浩¹ (1.東工大)

キーワード：強誘電体、薄膜、チタン酸鉛

チタン酸鉛(PbTiO₃, PT)は代表的なペロブスカイト構造鉛系強誘電体として幅広く研究されている。我々はこれまでに、SrRuO₃//SrTiO₃(SRO//STO)基板上に水熱合成法を用いて200 nmのPTエピタキシャル膜の作製に成功し、残留歪みが少ない膜が作製できることを報告した。本研究では、水熱合成法で膜厚の異なるエピタキシャルPT膜を作製し、そのドメイン構造と特性を調査したので報告する。