[20a-C105-1~11] 12.3 機能材料・萌芽的デバイス

△ [20a-C105-9] 原子ステップ形状を有する超平坦PEDOT:PSS導電性ポリマー薄膜の作製と表面特性制御

〇前田 優斗¹、梅本 琉花¹、島田 侑果¹、大賀 友瑛¹、金子 智^2,1、松田 晃史¹、吉本 護¹ (1.東工大物質理工、2.神奈川産技総研)

キーワード：導電性高分子、熱ナノインプリント、PEDOT: PSS

導電性ポリマーを用いた微細かつ高集積なデバイス形成においては、異種材料との積層や複合化も考慮し、表面・界面平坦性や原子・ナノレベルのパターニングが重要となる。本研究では、スピンコート法にポリイミドシート（PI）上に堆積したPEDOT:PSS導電性ポリマー薄膜表面への熱ナノインプリント加工による原子レベルパターン転写条件、および熱や真空紫外光による表面形状変化について検討した。