2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.4 III-V族窒化物結晶

[20a-C200-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

2022年9月20日(火) 09:00 〜 12:00 C200 (C200)

谷川 智之(阪大)、大音 隆男(山形大)

11:30 〜 11:45

[20a-C200-10] スパッタ法を用いた格子緩和した長波長(>600 nm)発光InGaN LEDの作製

高山 明都1、上野 耕平1、小林 篤1、藤岡 洋1 (1.東大生研)

キーワード:発光素子、窒化インジウムガリウム、スパッタリング